CM4 IN-USA Model IR-148 Vertex Chemcassette
Chemkey TLD SPM Midas ACM 100 MGD
 
File : Midas datasheet
File : MIDAS Cartridge Datasheets

반도체 공정용 흡입식 가스 검지기

Midas®는 반도체 제조 공정에서 사용되고 생성된 모든 종류의 가스를 빠르고 신뢰성있게 검지하기 위한 장비입니다.

Midas®는 센서 교정을 자주 할 필요가 없고, 유연성있는 통신방법 및 센서의 성능, 유량을 체크하는 특허된 진단기능을 통해 유지 관리를 최소화하여, 많은 비용을 절감하였습니다.

Midas®는 Fab에서 검지되어야 하는 대부분의 유독성 및 가연성 가스를 검지하는 기기입니다. 교정된 스마트 센서 카트리지는 어떠한 도구없이 쉽고, 빠르게 교체 할 수 있도록 하였으며, 잘못된 센서를 끼우거나 센서가 끼워지지 않은 상태에서 동작 하는 것을 미연에 방지하도록 하였습니다.

밝은 LED와 아이콘 방식을 통해 쉽게 확인이 가능하며, 가스 농도값과 경보 상황을 즉시 확인할 수 있습니다. 또한 교정, 테스트 및 설정 변경을 위해 암호를 입력하도록 할 수 있습니다.

Midas®는 사이즈가 작고 메탈 샤시 디자인이기 때문에 공간이 좁고 복잡한 프로세스 환경에서도 간단히 설치가 가능합니다.

Midas®는 혁신적인 Power over Ethernet(PoE) 프로토콜(전원, Control 및 통신을 위해서 하나의 Ethernet 연결만 필요함) 뿐만 아니라 3릴레이, 0-22mA 아날로그 출력, Modbus/TCP Ethernet 디지털 출력 등이 기본으로 내장된 유연한 전원 및 통신방법을 가지고 있습니다. PLC와 FieldBus 시스템을 사용함으로써 비용면에서도 굉장히 효과적입니다.

Midas® Transmitter는 30m 떨어진 지점으로부터의 가스까지 채취하여 측정할 수 있으며, 오동작 없이 안정된 측정을 위해서 특허된 제어기술을 이용하여 유량을 자동으로 조절하도록 하였습니다. 하니웰애널리틱스는 신뢰성있는 센서를 개발하여 이를 세계적으로도 유일한 자동 생산로봇을 이용 생산하기 때문에 대량 생산이 가능합니다.

Midas®는 ppb 단위의 유독성 가스를 검지하기 위한 혁신적인 Chemcassette를 보완하기 위해 고안된 장비로, 전 세계적으로 24시간 운영하는 서비스 엔지니어를 쉽게 만날 수 있습니다.

특징
• 2년 동안 보증 가능한 35개 이상의 가스감지센서 (* 1년 보증기간이 기본)
• ´e-calibration´ 인증서와 함께 스마트 센서 카트리지 제공
• 1차, 2차 및 fault 알람을 위한 3릴레이
• Power over Ethernet (PoE) 통신 및 power platform
• 키패드 또는 원격 웹 브라우져에 의한 인터페이스
• 일반 발신기에도 연결될 수 있는 Pyrolyzer 및 Analog Input modules
• 시스템의 안정을 위해 패스워드를 입력
• 밝은 LED 및 아이콘 방식에 의해 쉽게 메뉴를 인식할 수 있으며 백라이트가 있는 넓은 LCD 창
• 출하전 가스 센서에 대한 교정 실시
• Fault와 이벤트 로깅을 위한 별도의 0-22 mA Analog 출력
• 모든 제어 및 알람 시스템에의 쉬운 연결을 위해 Modbus/TCP Ethernet 사용
• 교육용 시뮬레이터 제공
• 전자파로 인한 오동작 방지(CE Mark)
• 안전을 위한 Reflex 센서 체크 기술
• 온도 보상 기술 응용
• 센서 이력를 점검하기 위한 이벤트 로깅